蒋均 1,2陈鹏 1,2何月 1,2田遥岭 1,2[ ... ]林长星 1,2
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院微系统与太赫兹研究中心, 四川 成都 610200
2 中国工程物理研究院电子工程研究所, 四川 绵阳 621900
介绍了基于反向平衡式二极管和石英基片完成, 而非集成电路的0.68 THz和1.00 THz频段平衡式三倍频.此项工作提高了二极管等效电路模型, 该二极管模型不仅包括I/V和C/V, 同时还加入了等离子体共振和趋肤效应, 将薄膜电路减薄至15 μm, 机械加工精度提高至3 μm内, 使工作频率提高至1.2 THz.通过场路协同仿真, 利用高精度太赫兹装配工艺, 最终实现工作频率为0.68 THz和倍频效率为1 %的三倍频器, 工作频率为1.00 THz和倍频效率为0.6 %的三倍频器, 输出相对带宽均大于10 %.
太赫兹 平衡式三倍频 肖特基二极管 反向平衡二极管 石英基片 terahertz balance tripler Schottky diode LEC model LEC模型 antiparallel diodes quartz glass 
红外与毫米波学报
2019, 38(2): 02154

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