1 华中光电技术研究所—武汉光电国家实验室, 湖北 武汉 430223
2 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
通过分析仿生蛾眼抗反射阵列周期对反射率和透射率的影响,获得了波长与周期之比与反射波能量和零级透射波能量直接相关,分界线符合±1级衍射倏逝条件。在亚波长区具有低反射率和低零级透射率,而在小周期区具有低反射率和透射率。并且通过引入微结构顶面与底面直径之比圆锥度系数概念来表征微结构形状,从而能够分析圆锥形、圆台形、圆柱形仿生蛾眼微纳结构之间不同形状过渡的变化趋势,进而实现了制备微纳结构形状的误差分析。
仿生蛾眼 抗反射微纳结构 衍射特性 瑞利展开式 形状误差分析 bionic moth-eye anti-reflection micro-nano structure diffraction characteristics rayleigh expansion shape error analysis
