中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海200083
通过光刻和湿化学腐蚀工艺，成功制作出规格为2×8的多元锰钴镍氧薄膜红外探测器件.测试表明，室温下锰钴镍氧薄膜材料负电阻温度系数达-3.8%K-1.10Hz调制频率和±15V电压偏置条件下，线列器件典型探测元黑体响应率为107V/W，探测率为2×107cmHz1/2/W，8元器件响应不均匀度为5.9%.实验结果表明锰钴镍氧薄膜焦平面器件制备的可行性，有可能作为新型室温全波段探测器件得到应用.
锰钴镍氧薄膜 热敏材料 线列焦平面 MnCoNiOthin film bolometer material linear focal plane array
