南京邮电大学 电子科学与工程学院, 南京 210046
提出了一种考虑温度影响的基于光子晶体的微压力传感器, 传感器由微压力传感和温度传感两部分构成, 其中微压力传感部分测量的是所处温度环境下的压力值。两部分传感器均利用波导和腔的耦合实现带阻滤波功能, 根据带阻滤波器的模式在所处温度下线性红移, 分别计算相应的温度值和该温度下的压力值, 并通过热光效应和热膨胀效应计算出温度对器件材料折射率的影响, 从而得到真实的微压力。文中对结构参数进行了优化设计, 实现了1.33 nm/μN的微压力灵敏度。
光子晶体 压力传感器 温度 悬臂 photonic crystals pressure sensors temperature cantilver
