作者单位
摘要
宁波大学 理学院 微电子科学与工程系, 浙江 宁波 315211
近年来, 随着微机电系统、显微医疗和组织工程等领域技术水平的快速发展, 微操作技术引起了科研界和产业界的广泛关注, 其对于未来的微纳技术的小型化、功能化和集成设备的制造有着至关重要的作用。利用飞秒激光双光子聚合技术加工的微结构, 其尺寸处于微观尺度, 质地较脆、黏着力大、尺度效应显著, 且微结构所受到的表面力逐渐取代重力起主导作用, 以上因素进一步增加了微操作的难度。因此, 一种基于毛细作用的玻璃毛细管吞吐微结构的微操作装置被提出, 利用毛细力将微结构拾取和移动, 再将不同的微结构装配在一起。该方法不仅能将微型原件进行组装, 而且能将不同材料、不同特性的微型器件组装在一起, 形成复杂的混合微结构。
双光子聚合 毛细作用 拾取 移动 装配 two-photon polymerization capillary action pick-up movement assembly 
红外与激光工程
2019, 48(3): 0306007

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