作者单位
摘要
齐齐哈尔大学 应用技术学院, 黑龙江 齐齐哈尔 161000
为了解决大口径凸球面镜高精度检测问题, 建立了子孔径拼接检测数学模型, 模型以全局优化算法及最小二乘拟合算法为基础, 优化得出被检测镜面全口径面形, 并基于该数学模型对一口径φ120 mm凸球面镜完成了拼接检测, 检测中共测量5个子孔径。由检测结果可以看出, 拼接面形表面光滑连续, 无拼接痕迹。为了验证拼接精度, 在子孔径检测中另取一用于评价拼接精度的自检验子孔径, 完成了对应子孔径的检测, 并将拼接结果与自检验子孔径检测结果进行了点对点相减, 从而获得残差图, 实验结果表明: 残差图PV值为0.014λ, RMS值为0.003λ, 表明拼接结果的可信性, 验证了算法的可靠性与准确性。
光学检测 干涉测量 子孔径拼接 凸球面镜 optical testing interferometry sub-aperture stitching convex spherical mirror 
红外与激光工程
2016, 45(5): 0517002

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