针对短脉冲激光打靶用溅射防护聚合物薄膜做了初步研究。研究了氟化乙丙共聚物(FEP)、全氟烷氧基共聚物和乙烯-四氟乙烯共聚物三种厚度均为25 μm的聚合物薄膜的透过率,结果表明FEP薄膜在355 nm处光透过率达93%,有望用于激光打靶的溅射防护。进一步对FEP聚合物薄膜的波前畸变、激光损伤阈值进行了研究,结果表明80 mm的聚合物薄膜在632.8 nm处的透射波前畸变的峰谷值(PV值)为波长的1.006倍;在采用输出波长355 nm,脉冲宽度9.3 ns的Nd:YAG激光为照射光源波长处,薄膜零损伤概率时的最高激光能量密度为10.35 J/cm2, 100%损伤概率时的最低激光能量密度为11.48 J/cm2。