1 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室,北京 100083
2 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 101407
大功率高光束质量半导体激光器在激光加工、激光通信、科学研究等方面有着广泛的应用,提高半导体激光器的功率和光束质量一直都是国际的研究前沿和学科热点。合束技术是提高半导体激光器输出功率最简单有效的方法。非相干合束技术提高输出功率往往以损失空间、偏振或光谱特性为代价,在对光束特性要求不高的场合应用较为成熟。相干合束技术在提高半导体激光器输出功率的同时还能提高光束质量、压窄频谱宽度,是高亮度窄线宽半导体激光技术发展的重要方向。本文简述了相干合束技术的原理及要求,从锁相技术出发,综述了半导体激光器相干合束技术近年来的发展现状,总结了主动锁相和被动锁相的优缺点,主动锁相技术采用主振荡放大结构通过相位负反馈技术实现锁相,在合束单元数量上具有优势,能获得大功率相干输出,但结构较为复杂。被动锁相技术结构简单,一般通过外腔的衍射效应或者共腔技术实现单元间的相位锁定,具备自组织锁相特点,但不易获得高功率输出。最后对半导体激光器相干合束技术的未来发展进行了展望。
相干合束 半导体激光器 锁相 高光束质量 高功率 激光与光电子学进展
2024, 61(1): 0114007
厦门大学物理科学与技术学院,福建 厦门 361005
基于实验样品结构,利用PICS3D模拟软件,构建了具有同样结构的InGaN基蓝光激光器,并采取了与实验样品一致的内部参数测定方式,结果表明,内部损耗相对误差为3.5%,实现了严格的比对。随后,构建了一系列InGaN基蓝光激光器,通过比较不同In摩尔分数下的光输出功率、载流子分布、光场分布、辐射复合系数和能带曲线等参数,对上波导层中的In摩尔分数进行优化研究。设计得到了光功率更优的两种不同的优化结构,均有效减少了电子泄漏,提高了斜率效率,从而有效提高了光电转化效率,其中渐变In摩尔分数上波导层结构提升效果更为显著。
二极管激光器 上波导层 渐变层 电子泄漏 光学学报
2023, 43(20): 2014002
1 中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院高能激光科学与技术重点实验室,四川 绵阳 621900
半导体激光功率的提升对于**安全、激光通信、激光探测/传感、激光照明、医疗美容等领域有着重要的意义。半导体激光共孔径合成技术可以在保证光束质量的情况下大幅提升输出功率,近年来得到了广泛的关注。半导体激光共孔径光谱合成和半导体激光共孔径相干合成是两种典型的半导体激光共孔径合成技术手段,多家国内外机构在这两种技术上一再取得突破。本文综述了上述半导体激光共孔径合成技术的发展,并对该技术的发展前景进行了展望。
激光器与激光光学 激光二极管 激光共孔径合成 半导体激光 激光光谱合成 激光相干合成 激光与光电子学进展
2023, 60(19): 1900002
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室,吉林 长春 130033
针对激光淬火在大型风电轴承生产中的实际需求,研制了一种功率高达15 kW的光纤耦合半导体激光淬火光源。该光源先采用915 nm和976 nm两个波段各8个宏通道冷却技术封装的半导体激光微巴条阵列作为发光单元,进行空间、偏振及波长合束,在光纤芯径为200 μm、数值孔径为0.22的光纤中实现了超过800 W的连续输出,电光转换效率整体达到45%以上。再通过19×1光纤合束器对19个800 W模块进行合束,由输出端口光纤直径为1 mm的光纤耦合输出。光束经过由微透镜阵列与聚焦镜复合的加工头,光斑匀化,最终输出了功率大于15 kW、光斑尺寸为165 mm 25 mm的激光束,满足了大型风电主轴轴承滚道面淬火需求。
激光器 半导体激光器 光纤耦合 合束 激光淬火
红外与激光工程
2023, 52(1): 20220206
1 西安工业大学兵器科学与技术学院,陕西 西安 710021
2 西安工业大学光电工程学院,陕西 西安 710021
3 中科芯集成电路股份有限公司,江苏 无锡 214101
4 微视传感科技有限公司,江苏 无锡 214000
半导体激光器能量转换效率高、体积小、稳定性好,因此激光雷达常以半导体激光器作为光源。针对半导体激光发散角大,而传统的分离式双柱面准直透镜组存在装调误差大、结构复杂、稳定性低的缺点,提出一体化非球面柱透镜准直方案,分别在两面的相互正交的两个方向设计不同的面型,压缩发散角,同时实现半导体激光器快慢轴两个方向的准直。根据费马原理及扩束准直理论初步确定两正交方向准直面面型参数,以最小光斑半径和最大光通量为目标,以MEMS微镜尺寸为限制因素进行优化,最终完成发射端光学设计。准直后光束快轴发散角2 mrad,慢轴发散角9.6 mrad,准直效果接近车规级激光雷达的平均角分辨率,透镜体积为10×10×24 mm3,发射端系统总长40 mm,系统通光率大于98.6%,满足MEMS-LiDAR对光源准直度、发射端系统集成度和稳定性的要求。
半导体激光器准直 一体化非球面柱透镜 光束整形 微机电系统激光雷达 the collimation for diode lasers integrated aspheric cylindrical lens beam shaping MEMS-LiDAR
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
3 军事科学院系统工程研究院,北京 102300
光谱合束是提升高功率半导体激光器光束质量和亮度的关键技术之一。增加激光单元数量是提升光谱合束功率的主要途径,但同时造成合束光学元件尺寸变大,激光谐振腔变长不利于光谱合束光源的实际应用。提出了分离反射式中继成像光谱合束结构,将大尺寸中继成像镜分解成小尺寸的柱面反射镜阵列,每个激光线阵独立成像。最终12个激光线阵共计228个激光单元的光谱合束的输出激光功率为442.9 W,电光转换效率为41.8%,光谱范围为777.12~811.28 nm,光参量积为4.00 mm×mrad,与单元激光接近。所提结构为多激光单元光谱合束提供了一种可行方案,有利于激光器的工程应用。
激光器 半导体激光器 光谱合束 分离反射式中继成像 高功率 中国激光
2022, 49(23): 2301001
大连理工大学光电工程与仪器科学学院,辽宁 大连 116024
根据沙氏成像原理,采用450 nm高功率二极管激光器作为光源,CMOS图像传感器作为探测器,研制了一种水体沙氏激光雷达,并利用该雷达系统实现了动态水体衰减系数测量。针对空气-玻璃-水体交界面的折射效应,对水体测量时的像素-距离关系进行修正。在实验室内,利用沙氏激光雷达系统对加入不同质量浓度脂肪乳(Intralipid)的水体进行探测研究,并利用斜率法及Klett法反演得到水体衰减系数。实验结果表明,沙氏激光雷达不仅可以捕捉水体动态变化过程,而且反演获得的水体衰减系数与加入的脂肪乳质量浓度具有良好的一致性,证明了沙氏激光雷达用于水体衰减系数定量探测的可行性,为下一步开放水域测量提供了参考。
遥感 沙氏激光雷达 沙氏成像原理 衰减系数 二极管激光器 水体探测 中国激光
2022, 49(12): 1210003