张超 1,2林学春 1,2,**赵鹏飞 1,*董智勇 1[ ... ]于海娟 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所全固态光源实验室,北京 100083
2 中国科学院大学材料科学与光电技术学院,北京 101407
大功率高光束质量半导体激光器在激光加工、激光通信、科学研究等方面有着广泛的应用,提高半导体激光器的功率和光束质量一直都是国际的研究前沿和学科热点。合束技术是提高半导体激光器输出功率最简单有效的方法。非相干合束技术提高输出功率往往以损失空间、偏振或光谱特性为代价,在对光束特性要求不高的场合应用较为成熟。相干合束技术在提高半导体激光器输出功率的同时还能提高光束质量、压窄频谱宽度,是高亮度窄线宽半导体激光技术发展的重要方向。本文简述了相干合束技术的原理及要求,从锁相技术出发,综述了半导体激光器相干合束技术近年来的发展现状,总结了主动锁相和被动锁相的优缺点,主动锁相技术采用主振荡放大结构通过相位负反馈技术实现锁相,在合束单元数量上具有优势,能获得大功率相干输出,但结构较为复杂。被动锁相技术结构简单,一般通过外腔的衍射效应或者共腔技术实现单元间的相位锁定,具备自组织锁相特点,但不易获得高功率输出。最后对半导体激光器相干合束技术的未来发展进行了展望。
相干合束 半导体激光器 锁相 高光束质量 高功率 
激光与光电子学进展
2024, 61(1): 0114007
作者单位
摘要
厦门大学物理科学与技术学院,福建 厦门 361005
基于实验样品结构,利用PICS3D模拟软件,构建了具有同样结构的InGaN基蓝光激光器,并采取了与实验样品一致的内部参数测定方式,结果表明,内部损耗相对误差为3.5%,实现了严格的比对。随后,构建了一系列InGaN基蓝光激光器,通过比较不同In摩尔分数下的光输出功率、载流子分布、光场分布、辐射复合系数和能带曲线等参数,对上波导层中的In摩尔分数进行优化研究。设计得到了光功率更优的两种不同的优化结构,均有效减少了电子泄漏,提高了斜率效率,从而有效提高了光电转化效率,其中渐变In摩尔分数上波导层结构提升效果更为显著。
二极管激光器 上波导层 渐变层 电子泄漏 
光学学报
2023, 43(20): 2014002
傅芸 1,2,*谭昊 1,2郭林辉 1,2张兰平 1,2[ ... ]唐淳 1,2
作者单位
摘要
1 中国工程物理研究院应用电子学研究所,四川 绵阳 621900
2 中国工程物理研究院高能激光科学与技术重点实验室,四川 绵阳 621900
半导体激光功率的提升对于**安全、激光通信、激光探测/传感、激光照明、医疗美容等领域有着重要的意义。半导体激光共孔径合成技术可以在保证光束质量的情况下大幅提升输出功率,近年来得到了广泛的关注。半导体激光共孔径光谱合成和半导体激光共孔径相干合成是两种典型的半导体激光共孔径合成技术手段,多家国内外机构在这两种技术上一再取得突破。本文综述了上述半导体激光共孔径合成技术的发展,并对该技术的发展前景进行了展望。
激光器与激光光学 激光二极管 激光共孔径合成 半导体激光 激光光谱合成 激光相干合成 
激光与光电子学进展
2023, 60(19): 1900002
作者单位
摘要
1 中国科学院半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083
2 中国科学院大学 材料科学与光电技术学院, 北京 100049
单片集成式主振荡功率放大器(MOPA)具有体积小、功率大、光束质量高等优势,通过集成布拉格光栅,还能够实现窄线宽和动态单模,在倍频、泵浦、光通信和传感等领域具有重要应用价值,是近年来半导体光电子器件的研究热点。本文梳理了单片集成式MOPA的主流结构,包括锥形、脊型、布拉格光栅型和三段式MOPA,以各自的工作原理和性能特征为出发点,介绍其主要的研究方向,并结合它们各自面临的问题介绍最新的发展趋势。针对单片集成式MOPA中普遍存在的高功率下光束质量退化的问题,梳理了近年在外延层结构、腔面光学薄膜和电极设置等方面的优化设计,重点总结了单片集成式MOPA在提高光束质量及高功率、容线宽及高亮度方面的重要进展。围绕不同领域的应用需求,整理了具备高功率、窄线宽、高光束质量和高亮度等性能特征的单片集成式MOPA的研究进展,最后展望了单片集成式MOPA的发展趋势。
主振荡功率放大器 单片集成结构 半导体激光器 半导体光放大器 优化设计 Master-Oscillation Power-Amplifier (MOPA) monolithic integrated diode lasers semiconductor optical amplifier optimal design 
中国光学
2023, 16(1): 61
游道明 1,2谭满清 1,2,*郭文涛 1,*曹营春 1[ ... ]刘珩 1
作者单位
摘要
1 中国科学院 半导体研究所 集成光电子学国家重点实验室,北京 100083
2 中国科学院大学 材料科学与光电技术学院,北京 100049
腔面光学薄膜是光纤光栅外腔激光器(ECL)的关键结构,平面波方法(PWM)被广泛应用于腔面光学薄膜的设计,然而该设计在ECL中的实际应用效果往往并不理想。本文在使用PWM方法时通过时域有限差分法分析其中的原因,并考虑腔面尺寸和结构影响。仿真结果显示,PWM设计存在反射率差和反射曲线偏移等问题,实际的反射特性显著偏离设计值。因此本文重点优化了薄膜设计,并采用磁控溅射工艺镀膜。测量结果显示,优化后增透膜的反射率降低了30%,高反膜反射率增至96%以上,所制备的ECL的光纤输出功率超过650 mW。本文研究结果为ECL和其他半导体光电子器件的腔面光学薄膜研制提供了参考。
外腔激光器 光学薄膜 时域有限差分 腔面镀膜 external cavity diode lasers optical film finite-difference time-domain facet coating 
中国光学
2023, 16(2): 447
作者单位
摘要
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所发光学及应用国家重点实验室,吉林 长春 130033
针对激光淬火在大型风电轴承生产中的实际需求,研制了一种功率高达15 kW的光纤耦合半导体激光淬火光源。该光源先采用915 nm和976 nm两个波段各8个宏通道冷却技术封装的半导体激光微巴条阵列作为发光单元,进行空间、偏振及波长合束,在光纤芯径为200 μm、数值孔径为0.22的光纤中实现了超过800 W的连续输出,电光转换效率整体达到45%以上。再通过19×1光纤合束器对19个800 W模块进行合束,由输出端口光纤直径为1 mm的光纤耦合输出。光束经过由微透镜阵列与聚焦镜复合的加工头,光斑匀化,最终输出了功率大于15 kW、光斑尺寸为165 mm × 25 mm的激光束,满足了大型风电主轴轴承滚道面淬火需求。
激光器 半导体激光器 光纤耦合 合束 激光淬火 
中国激光
2023, 50(5): 0501004
作者单位
摘要
1 四川大学 电子信息学院,四川 成都 610065
2 中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209
基于原有Littman-Metcalf型光栅外腔半导体激光器的工作原理,设计了一种可以降低衍射损耗的外腔结构。在Littman-Metcalf结构的基础上增加一个反射镜,将闪耀光栅二次衍射产生的零级衍射光反馈回半导体激光器本征腔。推导了新结构模型外腔损耗的表达式,通过等效腔的概念对两种结构激光器的外腔损耗、阈值电流、输出线宽以及输出功率进行了仿真分析。结果表明:将二次衍射产生的零级光反馈回有源区可有效降低Littman-Metcalf结构激光器的外腔损耗,提高了系统的耦合效率,从而降低阈值电流,提高了激光器的输出功率。同时,由于提高了外腔反射效率,该外腔结构进一步压窄激光器的输出线宽。对影响低损耗Littman-Metcalf外腔激光器输出线宽以及输出功率的因素(端面反射率、内外腔长、闪耀光栅衍射效率以及反射镜反射率等)也进行了仿真分析,为后期激光器制作提高了理论指导。
外腔反馈 外腔损耗 阈值电流 外腔半导体激光器 线宽 external cavity feedback external cavity loss threshold current external cavity diode lasers line width 
红外与激光工程
2023, 52(1): 20220206
作者单位
摘要
1 西安工业大学兵器科学与技术学院,陕西 西安 710021
2 西安工业大学光电工程学院,陕西 西安 710021
3 中科芯集成电路股份有限公司,江苏 无锡 214101
4 微视传感科技有限公司,江苏 无锡 214000
半导体激光器能量转换效率高、体积小、稳定性好,因此激光雷达常以半导体激光器作为光源。针对半导体激光发散角大,而传统的分离式双柱面准直透镜组存在装调误差大、结构复杂、稳定性低的缺点,提出一体化非球面柱透镜准直方案,分别在两面的相互正交的两个方向设计不同的面型,压缩发散角,同时实现半导体激光器快慢轴两个方向的准直。根据费马原理及扩束准直理论初步确定两正交方向准直面面型参数,以最小光斑半径和最大光通量为目标,以MEMS微镜尺寸为限制因素进行优化,最终完成发射端光学设计。准直后光束快轴发散角2 mrad,慢轴发散角9.6 mrad,准直效果接近车规级激光雷达的平均角分辨率,透镜体积为10×10×24 mm3,发射端系统总长40 mm,系统通光率大于98.6%,满足MEMS-LiDAR对光源准直度、发射端系统集成度和稳定性的要求。
半导体激光器准直 一体化非球面柱透镜 光束整形 微机电系统激光雷达 the collimation for diode lasers integrated aspheric cylindrical lens beam shaping MEMS-LiDAR 
应用激光
2022, 42(2): 97
作者单位
摘要
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室,吉林 长春 130033
2 中国科学院大学,北京 100049
3 军事科学院系统工程研究院,北京 102300
光谱合束是提升高功率半导体激光器光束质量和亮度的关键技术之一。增加激光单元数量是提升光谱合束功率的主要途径,但同时造成合束光学元件尺寸变大,激光谐振腔变长不利于光谱合束光源的实际应用。提出了分离反射式中继成像光谱合束结构,将大尺寸中继成像镜分解成小尺寸的柱面反射镜阵列,每个激光线阵独立成像。最终12个激光线阵共计228个激光单元的光谱合束的输出激光功率为442.9 W,电光转换效率为41.8%,光谱范围为777.12~811.28 nm,光参量积为4.00 mm×mrad,与单元激光接近。所提结构为多激光单元光谱合束提供了一种可行方案,有利于激光器的工程应用。
激光器 半导体激光器 光谱合束 分离反射式中继成像 高功率 
中国激光
2022, 49(23): 2301001
作者单位
摘要
大连理工大学光电工程与仪器科学学院,辽宁 大连 116024
根据沙氏成像原理,采用450 nm高功率二极管激光器作为光源,CMOS图像传感器作为探测器,研制了一种水体沙氏激光雷达,并利用该雷达系统实现了动态水体衰减系数测量。针对空气-玻璃-水体交界面的折射效应,对水体测量时的像素-距离关系进行修正。在实验室内,利用沙氏激光雷达系统对加入不同质量浓度脂肪乳(Intralipid)的水体进行探测研究,并利用斜率法及Klett法反演得到水体衰减系数。实验结果表明,沙氏激光雷达不仅可以捕捉水体动态变化过程,而且反演获得的水体衰减系数与加入的脂肪乳质量浓度具有良好的一致性,证明了沙氏激光雷达用于水体衰减系数定量探测的可行性,为下一步开放水域测量提供了参考。
遥感 沙氏激光雷达 沙氏成像原理 衰减系数 二极管激光器 水体探测 
中国激光
2022, 49(12): 1210003

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