对双光束波长合束精度进行了研究。用镀有特制光学薄膜的滤光片对波长为532和515 nm的两束激光进行合束，并对合束精度进行检测。基于此系统，建立了对应理论模型，并对合束及检测的误差来源和大小进行全面分析。两光束指向稳定性均为50 μrad时，合束精度理论值为14.69″，指向稳定性所占比例为99.26%，系统对质心定位等不稳定因素(误差变化＜3倍)抗性极好，精度变化＜2.4‰; 指向稳定性提高到23.51 μrad时，合束精度理论值为7.09″，指向稳定性所占比例为96.77%，系统仍有较高抗干扰能力，精度变化＜1%。分析表明，影响近场小功率合束精度的因素有激光指向稳定性、机械调节和质心定位误差，其中激光指向稳定性是主要因素。通过调节各因素的比例，可对合束的抗干扰能力进行控制。