为了实现高效、准确的检测和定位微结构如光刻掩模版的边缘轮廓，提出了一种差动共焦显微(DCM)边缘轮廓检测方法，并对该方法进行了原理仿真分析和实验验证。该方法具有在焦点的过零阶跃触发特性。利用该特性，该方法可以实时得到样品二值化边缘轮廓图像，极大地提高了边缘轮廓检测效率。理论分析和仿真表明，该方法边缘定位准确，不受边缘形状、方向和样品有效反射率的影响，可以有效抑制噪声和干扰。5 μm周期台阶标准样品周期测量对比实验表明，该方法所得边缘轮廓能够实现高精度的横向尺寸测量,因此能够用于微结构的快速工业边缘轮廓成像检测。
测量 边缘检测与定位 差动共焦显微术 过零触发 微结构检测 中国激光
2014, 41(10): 1008001
