提出了一种电子束泵浦准分子激光放大器的双程光路准直方法, 以保证光束在放大器中按照预定方向传输, 并使多路光束稳定精确地照射靶面。首先, 鉴于准分子放大器中无天然准直基准提出了利用双叉丝像传递光路进行准直的方法, 即把输入光束叉丝基准作为“近场点”, 把输出光束叉丝基准作为“远场点”, 并设计了放大器准直光路, 编写了相应的软件。然后, 在现有实验室条件下开展了电子束泵浦准分子激光放大器双程光路的自动准直实验。最后, 分析了影响该方法的相关因素及准直精度。实验及分析表明, 设计的准直系统在较短时间内实现了预定传输光路的自动准直, 系统自身精度为0.63 μrad, 光束最大复位误差为13.75 μm, 满足了电子束泵浦准分子激光放大器双程光路自动准直的要求。