合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 合肥 230009
针对传统剪切散斑干涉技术只能测量粗糙表面, 无法直接测量镜面物体的缺陷, 提出了一种改进的剪切成像装置, 利用被测物表面反射由激光经毛玻璃组扩束后产生的散斑来实现镜面物体缺陷检测; 同时采用双成像的马赫曾德干涉系统, 实现剪切量与载波频率的独立调整, 扩大有效测量区域.对8 k镜面板采用顶针加载的方式, 对预置缺陷的镜面表面材料采用热加载的方式, 进行缺陷检测.实验结果表明: 该方法检测出的缺陷分布与加载方式、预置缺陷的分布基本保持一致, 可实现对镜面材料内部缺陷的快速动态检测.
剪切散斑干涉 镜面被测物 毛玻璃组 马赫曾德双成像 缺陷检测 Shearography Object with specular surface Frosted glass group Double imaging Mach-Zehnder Defect detection
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
针对目前光滑表面力学性能测试困难的情况, 建立了一种改进的数字激光散斑干涉测量系统。首先通过新的散斑干涉光路设计实现散斑照射, 同时采用空间载波傅里叶变换法, 对光滑零件加载变形的动态散斑干涉图像进行处理, 最后得到光滑表面的变形场分布情况。该方法不对被测表面进行任何处理, 可实现光滑表面的高精度全场变形测量。实验结果表明: 最大变形处为镜面板的中央, 测得最大变形量分别为1936、1861和1797 μm, 与中心变形预设值接近。该方法光路简单、测量方案切实可行, 能够实现光滑表面变形的快速动态测量。
光滑表面 数字散斑干涉技术 傅里叶变换法 毛玻璃 变形测量 smooth surface digital speckle pattern interferometry Fourier transform method frosted glass deformation measurement
