目前投射电容式触摸屏被广泛应用于智能手机等移动终端, 本文总结了常见触摸屏的基本原理和结构, 重点讲述了内置触控技术的发展。全内置触控技术(full In-cell)将触控IC和显示IC整合在一起, 有利于降低成本、实现薄型化, 是触控发展的终极目标。为了提升非晶硅产品的附加值, 制备了13.46 cm触摸屏, 触控走线和数据线位于同层并行排列, 相较现有技术, 省去了有机膜层和第三金属层(M3), 工艺制程和非In-cell产品完全一致, 至少可以节省两张光罩, 材料成本和制程优势明显。触控采用小坑扫描方式可以达到120 Hz, 关键触控性能指标准确度、精确度、线性度及抖动均可满足行业标准, 且显示性能和可靠性可达到非In-cell产品同等水平。