中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
搭建了紫外激光预处理平台, 实验研究了紫外激光对熔石英基片的预处理效果。通过对比不同样片可以看出：熔石英的表面质量对预处理效果影响明显; 表面原生缺陷和初始损伤的数量越多, 尺度越大, 辐照后的预处理效果越明显; 预处理时, 能量增幅采用零损伤阈值的20%为宜, 预处理能量的最高值一般应达到样片零损伤阈值的80%左右。实验发现, 损伤后的损伤扩展阈值一般为初始损伤阈值的1/3左右。
紫外激光 预处理 熔石英基片 损伤阈值 UV laser conditioning fused silica chip damage threshold
中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
为了提高熔石英基片对351 nm短波长激光的损伤阈值,采用光栅式扫描方式,利用CO2激光器输出10.6 μm波长的激光,对氢氟酸蚀刻后的小口径熔石英基片表面进行功率周期递增的辐照扫描。结果表明,经过CO2激光预处理后的熔石英基片,表面微观形貌得到了有效改善; 利用S:1的方法测量熔石英基片损伤阈值。结果发现,在中度激光抛光的程度下,其零概率损伤阈值提高了30%左右,且对透射波前没有造成不利影响,从而证明了CO2激光预处理提高熔石英基片抗激光损伤能力的有效性。
激光技术 预处理 光栅式扫描 CO2激光 熔石英基片 损伤阈值
