上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海200093
研究了一种高温质子交换制备铌酸锂光波导的工艺技术,质子源是稀释的苯甲酸熔融液,通过提高蒸气压的方法实现了350 ℃质子交换,X线衍射测试表明波导层具有单纯的α相结构。采用该技术实验制备了铌酸锂Y分支波导,报告了波导单模特性的测试判断方法,研究了控制波导单模传输的工艺环节。测试表明,试制样品在1 310 nm和1 550 nm波长下具有良好的单模传输特性。
导波光学 铌酸锂波导 高温质子交换 相位调制器 guided wave optics LiNbO3 waveguide high-temperature proton-exchanged phase modulator
