上海理工大学 光电信息与计算机工程学院, 上海200093
采用稀释硬脂酸和高温质子交换技术,研究了单偏振α相铌酸锂光波导的制备工艺。开发了一种高温密闭装置,通过提高蒸汽压的方法实现了350 ℃质子交换。波导折射率分布测试采用了棱镜薄膜耦合m线技术结合统计迭代法拟合的方法,晶相分析采用了红外吸收光谱技术。实验结果表明,掺入1.1%硬脂酸锂质量比例的硬脂酸作为缓冲质子源,经350 ℃/6 h高温质子交换,可以形成α相铌酸锂光波导,稀释度为1.3%时,同样的温度/时间条件下,可以获得632.8 nm单模α相铌酸锂光波导。
导波光学 α相铌酸锂波导 高温质子交换 硬脂酸缓冲质子源 guided wave optics α-phase LiNbO3 optical waveguide high temperature proton exchange stearic acid buffer proton source
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海200093
研究了一种高温质子交换制备铌酸锂光波导的工艺技术,质子源是稀释的苯甲酸熔融液,通过提高蒸气压的方法实现了350 ℃质子交换,X线衍射测试表明波导层具有单纯的α相结构。采用该技术实验制备了铌酸锂Y分支波导,报告了波导单模特性的测试判断方法,研究了控制波导单模传输的工艺环节。测试表明,试制样品在1 310 nm和1 550 nm波长下具有良好的单模传输特性。
导波光学 铌酸锂波导 高温质子交换 相位调制器 guided wave optics LiNbO3 waveguide high-temperature proton-exchanged phase modulator
