1 中国工程物理研究院 电子工程研究所, 四川 绵阳 621999
2 西南科技大学 信息工程学院, 四川 绵阳 621010
3 中国空气动力研究与发展中心, 四川 绵阳 621000
提出了一种感测单元不直接接触流场的微剪切应力传感器结构，详细阐述了其感测单元MEMS制作工艺。采用热氧化硅掩膜方法解决了硅深刻蚀的选择比问题；优化后的硅深刻蚀工艺参数：刻蚀功率1600 W、低频(LF)功率100 W，SF6流量360 cm3/min，C4F8流量300 cm3/min，O2流量300 cm3/min。采用Cr/Au掩膜，30 ℃恒温低浓度HF溶液解决了玻璃浅槽腐蚀深度控制问题；喷淋腐蚀和基片旋转等措施提高了玻璃浅槽腐蚀表面质量。采用上述MEMS工艺制作了微剪切应力传感器样品，样品测试结果表明：弹性悬梁长度和宽度误差均在2 μm以内、玻璃浅槽深度误差在0.03 μm以内、静态电容误差在0.2 pF以内，满足了设计要求。
高超声速飞行器 微剪切应力传感器 硅深刻蚀 喷淋腐蚀 hypersonic aircraft micro shear stress sensor silicon DRIE spray etching 强激光与粒子束
2017, 29(10): 104103
1 南京航空航天大学自动化学院, 南京 211106
2 光电控制技术重点实验室, 河南 洛阳 471000
分析了高超声速飞行器机翼关键部件的损伤演化及飞行器飞行动态对损伤的影响。在建立了高超声速飞行器机翼关键部件损伤动力学模型、飞行器动力学模型以及对机翼关键部件载荷应力分析的基础之上, 依次分析了飞行器飞行高度、速度、迎角以及控制舵面偏角等飞行器变量对机翼关键部件损伤动态特性的影响, 以确定影响损伤的关键变量。仿真结果表明, 相对于其他变量, 飞行器迎角对机翼关键部件损伤的影响是最大的。基于此结果可得出当飞行器进行高超声速飞行时, 从保证飞行安全与延长使用寿命的角度来看, 应尽量限制飞行迎角大小。所得结论为实际工程中结构可靠性设计提供了有价值的参考。
高超声速飞行器 机翼 损伤动力学模型 损伤动态特性 hypersonic aircraft wing damage dynamic model dynamic damage characteristic
