1 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津 300072
2 中国计量科学研究院,北京 100013
针对标准单晶硅球直径精密测量的需要,本文在介绍标准硅球直径测量系统原理并分析其光路特点的基础上,根据建立的数学模型,对激光束斜入射标准板时产生的椭圆干涉图像进行了分析,并对不同入射角度时干涉环中心点带来的直径测量误差进行了研究。分析结果显示,在给定的实验条件下,当入射角为10-3 rad 时,误差已达6.6 nm。提出了一种精确调整光束垂直入射平板的方法,实验结果表明,此方法能够使光束入射角的调整优于10-5 rad,满足系统测量的要求。
光学测量 直径测量 干涉环 椭圆度 激光光束对准 optical measurement diameter measurement interference ring ellipticity laser beam alignment
针对迈克尔逊干涉仪实验需要人工计数干涉环的问题，研制了一种干涉环自动计数装置.该装置运用光电传感和阈值比较的方法，采集干涉环，产生与明暗环纹相对应的电脉冲，由单片机计数并显示.为滤除电路噪声产生的干扰脉冲，在软件中使用了延时技术，提高了计数的准确性.实验结果表明：该装置计数精确，简单实用，可为此项实验提供方便.
迈克尔逊干涉仪 干涉环计数 装置设计 Michelson′s interferometer interference ring counting device design
