1 苏州科技学院 数理学院, 江苏 苏州 215009
2 江苏省企业研究生工作站, 江苏 苏州, 215123
3 苏州慧利仪器有限责任公司, 江苏 苏州 215123
针对现有干涉图校准方法的不足, 提出了一种基于加权最小二乘法的干涉图校准方法。根据干涉图中标准件边缘与干涉条纹边缘之间的差异, 用合适大小的掩模对标准件的边缘进行初步判定和提取, 再利用加权最小二乘法对提取出的边缘进行精确定位。通过计算标准件中已知尺寸部分在干涉图中所占据的像素数目, 求出每个像素代表的实际距离, 完成校准。实验表明, 该方法的计算耗时较霍夫变换法减少一半, 定位精度小于1个像素, 且适用于不同对比度的干涉图, 具有很强的实用性。
光学干涉测量 边缘检测 加权最小二乘法 干涉图校准 optical interferometry edge detection weighted least square interferogram’s calibration
