刘丁枭 1,2,*盛伟繁 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院 高能物理研究所, 北京 100049
2 中国科学院大学, 北京100049
为了解决大口径光学元件面形高精度测量问题,建立了拼接测量系统,通过测量得到整体表面面形。在拼接测量过程中,需要将待测面形进行划分,按着一定的顺序进行测量,再根据各个子口径之间的相对位置进行拼接。各个子口径存在重叠部分,采用均化的处理方法会导致高频面形数据的丢失。采用小波变换的拼接重叠区域融合方法可以减少高频数据的丢失。首先,对各个子口径的重叠区域分别进行小波变换得到低频和高频系数矩阵;然后,根据不同的方法对低频和高频系数矩阵进行融合得到新的系数矩阵;最后,通过小波逆变换得到整体面形。对尺寸为120 mm×40 mm的长方形反射镜面形进行拼接干涉测量,并用功率谱密度对本文方法和平均融合结果进行客观比较。实验结果表明,该方法可以保留更多的高频面形数据。
拼接干涉仪 大口径光学元件 小波融合 功率谱密度曲线 stitching interferometer large optical elements wavelet fusion power spectral density curve 
强激光与粒子束
2018, 30(8): 081001
作者单位
摘要
上海大学 机电工程及自动化学院, 上海 200072
为了满足车间条件下大口径光学元件的高精度在位、在线检测的迫切需求, 本文构建了一个适于一般环境下应用的动态干涉拼接测量实验系统。该系统由动态干涉仪、二维移动平台、控制系统及拼接软件等部分构成。应用该系统对200 mm×300 mm×20 mm的光学元件在一般应用环境下进行了拼接测量实验, 采用误差均化拼接算法进行拼接, 并对拼接后的结果进行分析处理, 比较拼接测量与全口径测量结果, PV值的相对误差为3.1%, RMS值的相对误差为16%, Power值的相对误差为2.1%。该系统为在车间环境下建立大口径光学元件在位检测建立了基础。
光学检测 子孔径拼接 动态干涉仪 大口径光学元件 误差均化拼接 optical testing sub-aperture stitching dynamic interferometer large optical elements error average stitching 
光学 精密工程
2017, 25(7): 1764

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