1 广东大湾区空天信息研究院,广东 广州 510530
2 武汉国家光电研究中心,湖北 武汉 430074
3 中国科学院大学,北京 100049
4 俄罗斯研究中心库尔恰托夫研究所,俄罗斯莫斯科 125047
极紫外光源在半导体制造中的掩模检测、显微成像以及光谱计量等环节中有着重要的应用。激光诱导放电等离子体是产生极紫外光源的重要技术手段之一,搭建了一套二氧化碳激光诱导放电产生锡等离子体的实验装置,对产生的极紫外光谱进行了收集探测,并结合辐射磁流体动力学模拟对极紫外的辐射特性进行了分析。实验对比了激光等离子体和放电等离子体的极紫外辐射特性的区别,发现放电电压对激光诱导放电等离子体极紫外光的带内辐射强度有着重要影响。模拟发现,当电压为15 kV时,极紫外辐射总能量达到65.0 mJ,转化效率达到0.23%,光谱纯度达到1.69%。
激光光学 激光诱导放电等离子体 极紫外光 辐射磁流体动力学 转化效率
强激光与粒子束
2023, 35(2): 025003
强激光与粒子束
2022, 34(7): 075002
强激光与粒子束
2021, 33(5): 055001
强激光与粒子束
2020, 32(8): 085002
中国工程物理研究院 流体物理研究所, 四川 绵阳 621900
在二维单介质磁驱动数值模拟程序(MDSC2)的基础上, 采用局部结构整体非结构的网格拼接方法, 研制了处理滑移界面的二维多介质程序。二维多介质程序解决了单介质程序无法处理的电极与飞片之间相互作用的模拟问题, 能更准确地模拟磁驱动发射实验的飞片状态。计算结果表明: 发射飞片的自由面部分始终保持固体密度状态;自由面速度历史和VISAR测量的速度曲线相吻合;飞片中间部分在电流加载过程中始终具有良好的平面性, 飞片两端出现拖尾质量, 产生不稳定性, 这是由于飞片两端与飞片中间部分的磁场强度分布不同造成的。
磁流体力学 磁驱动飞片 不稳定性 滑移界面 magneto-hydrodynamics magnetically accelerated flyer plates instability sliding interface 强激光与粒子束
2015, 27(1): 015002