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光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程解读
杨照金 王雷 黎高平 许荣国 
作者单位
摘要
西安应用光学研究所，西安，710065
简要介绍光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程的构成，被检测量仪器的技术指标、主要检定参数和检定方法等。该规程适用于光谱椭偏法测量光学薄膜折射率和厚度的仪器，在从事光学薄膜研究、生产和使用的单位具有广泛的应用前景。
检定规程 光学薄膜 厚度测量 折射率测量 verification regularation optical film measurement of thickness measurement of refractive index 
PDF全文 Full Text
应用光学
2007, 28(4): 0517
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