简要介绍光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程的构成,被检测量仪器的技术指标、主要检定参数和检定方法等。该规程适用于光谱椭偏法测量光学薄膜折射率和厚度的仪器,在从事光学薄膜研究、生产和使用的单位具有广泛的应用前景。
检定规程 光学薄膜 厚度测量 折射率测量 verification regularation optical film measurement of thickness measurement of refractive index
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本文对国家液相色检定规程JJG705-2002中未涉及的或不合理的检定项目,但直接影响高效液相色谱仪检测结果准确性的,如在输液泵方面,梯度混合时,应考虑混合脉动性和线性度;在自动进样器方面,应检测其进样残留;在检测器方面,关于波长准确度测试,根据实际工作经验,提出了比较实际的检测方法;最后,建议验证包括数据采集和处理系统的工作站.
计量检定 检定规程 准确度 metrological verification verification regulation accuracy