作者单位
摘要
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
文章设计了一种基于微处理器的电感测微仪,把这项技术应用在锂电池极片涂膜的厚度测量中,通过一系列的试验对该电感测微仪性能参数进行了评价。试验数据表明,该测量仪具有良好的性能指标,能在精密和超精密测量领域中使用。
电感测微仪 机械定位机构 精度分析 inductive micrometer mechanical positioning mechanism precision analysis 
现代显示
2012, 23(1): 40

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