1 之江实验室智能芯片与器件研究中心，浙江 杭州 310023
2 浙江大学光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027
双光子激光直写技术以其高精度、高灵活性的特点在科研领域被广泛应用，但较低的直写速度制约了其在工业领域的应用与发展。本团队基于转镜扫描系统设计并验证了一套高速双光子激光直写光刻系统，该系统基于空间光调制器与多通道声光调制器的联合调控，实现了六通道并行刻写功能，且每个通道可独立调控，调控频率可达MHz以上。实验结果表明，每通道直写速度最高可达7.770 m/s，刻写特征尺度最小为150 nm，并行刻写时的最高直写速度可达46.62 m/s。此外，本团队基于反射式像旋转器设计了一种高精度调节通道间距的方法，调节精度优于1 nm。
光学制造 微纳加工 双光子激光直写 多光束并行制造 中国激光
2022, 49(22): 2202009
1 湖北工业大学机械工程学院，湖北 武汉 430068
2 上海市激光技术研究所，上海 200233
针对单光束激光加工QR二维码效率的不足，提出了基于空间光调制器的QR二维码并行加工方法。利用GS反馈算法生成了高均匀性的QR二维码多光束全息图，结合空间光调制器以及飞秒激光在不锈钢表面标刻出能被有效识别的QR二维码。研究了单脉冲能量、脉冲数量、离焦量以及光束均匀性对QR二维码加工质量的影响，通过试验得到了最优QR二维码并行加工工艺参数。
QR二维码 多光束 空间光调制器 并行加工 QR code multiple beams spatial light modulator parallel processing
强激光与粒子束
2020, 32(10): 103009
电子科技大学 电子科学技术研究院, 四川 成都 611731
提出一种采用光寻址液晶空间光调制器(LCSLM)作为二维激光分束和多光束偏转的无机械光束扫描系统, 可对平行入射的激光光束分束、偏转, 且只用1片LCSLM就能够对每一束光的方向和强度分别控制。采用G-S相位迭代算法来实现多光束可编程控制的相位模版的生成过程与仿真。先运用子孔径法在相位模版上生成所需要的相位分布作为初始值, 然后采用GS相位迭代过程优化相位分布, 使各子孔径中的相位分布渐次扩展到整个相位模版, 其间还提出了改进的GS相位迭代算法, 最后对计算所获相位分布进行反演模拟。结果表明: 所提出的多光束二维偏转的算法能够满足应用需要, 且改进的GS相位迭代算法能提高多光束偏转的衍射效率, 优化光束光斑强度, 降低光束的均方根误差。
GS相位迭代算法 液晶空间光调制器 多光束的偏转 相位调制 G-S phase iterative algorithm liquid crystal spatial light modulator multiple beams steering phase modulation
1 Department of Physics, Fujian Teachers University, Fuzhou 350007, China
2 Fujian Institute of Research on the Structure of Matter,Chinese Academy of Sciences, Fuzhou 350007, China
Chinese Journal of Lasers B
2000, 9(5): 452
