1 中国科学院上海技术物理研究所 红外物理国家重点实验室，上海200083
2 齐齐哈尔大学 通信与电子工程学院，黑龙江 齐齐哈尔161006
3 华东师范大学 极化材料与器件教育部重点实验室，上海200241
采用溶胶-凝胶法在Si(111)衬底上制备纳米TiO2薄膜，利用电化学阴极还原法对TiO2纳米薄膜掺杂Nd3+，对其结构及光催化活性进行研究，结果显示，所制备的样品均为多晶结构，随着Nd3+掺杂量的增加颗粒尺寸明显减小，比表面积增大.Nd3+的掺杂导致TiO2光催化剂吸光能力增强，同时吸收限红移，提高了光的利用率，并且当掺杂量为1.2%时，光催化活性最好.
TiO2薄膜 光催化 钕掺杂 titanium dioxide thin film photocatalytic activity neodymium doping
