1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室，吉林 长春 130033
2 中国科学院大学，北京 100049
针对方形孔径自由曲面反射系统，构造方形域上正交多项式用于波前解析，得到方形孔径系统波像差系数。在计算机辅助装调阶段，为确保装调结果准确，用方形域上正交多项式和光学设计软件来建立系统的灵敏度矩阵，结合自准直干涉法得到的多个视场得波像差来求解系统失调量；在多次迭代后得到系统平均RMS为0.164 1(632.8 nm)实测系统平均传递函数达到0.453 4的理想结果；证明该装调方法正确性，并适用于其他形状孔径自由曲面离轴反射系统式系统装调。
方形域正交多项式 方形孔径 离轴自由曲面 计算机辅助装调 灵敏度矩阵 orthogonal polynomial in square area square aperture off-axis freeform computer-aided alignment sensitivity matrix
1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室, 吉林 长春 130033
2 中国科学院大学, 北京 100049
针对离轴自由曲面三镜反射系统，采用了基准传递技术和计算机辅助装调技术相结合的装调方法。基准传递过程中基于计算全息建立了一套完整、精确的空间基准来保证初装调质量；在此基础上，计算机辅助装调过程中采用自准干涉检验法获得多个视场干涉图，像差用方形域上正交修正泽尼克多项式系数表征，利用Zemax软件和方形域上正交修正泽尼克多项式得到系统的灵敏度矩阵，求解失调量；在多次迭代后得到系统平均波像差均方根值为0.1641λ（λ=632.8 nm），调制传递函数平均值为0.4534。
光学设计 离轴自由曲面 装调基准 计算全息 计算机辅助装调 修正泽尼克多项式 光学学报
2013, 33(12): 1208001
