1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室，吉林 长春 130033
2 中国科学院大学，北京 100049
针对方形孔径自由曲面反射系统，构造方形域上正交多项式用于波前解析，得到方形孔径系统波像差系数。在计算机辅助装调阶段，为确保装调结果准确，用方形域上正交多项式和光学设计软件来建立系统的灵敏度矩阵，结合自准直干涉法得到的多个视场得波像差来求解系统失调量；在多次迭代后得到系统平均RMS为0.164 1(632.8 nm)实测系统平均传递函数达到0.453 4的理想结果；证明该装调方法正确性，并适用于其他形状孔径自由曲面离轴反射系统式系统装调。
方形域正交多项式 方形孔径 离轴自由曲面 计算机辅助装调 灵敏度矩阵 orthogonal polynomial in square area square aperture off-axis freeform computer-aided alignment sensitivity matrix
