1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理开放实验室,吉林 长春 130021
2 吉林大学电子科学与工程学院,吉林 长春 130026
3 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,吉林 长春130022
研究了980 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)的结构设计和器件制作,实现了室温下的脉冲激射.在脉宽为50 μs,占空比为5:1000的脉冲电流下,直径400 μm的器件输出光功率最高可达380 mW,发散角小于10°,光谱的半高全宽为0.8 nm.
激光技术 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 分子束外延 量子阱结构 氧化工艺