1 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083
2 中国科学院红外探测与成像技术重点实验室, 上海 200083
在0.55～0.85 μm波段范围内，在保证薄膜高透射率的同时对其相位进行调控，是多偏振成像模块项目研制的关键技术。采用等效膜层理论，使用三种氧化物薄膜材料：Ta2O5、Al2O3、SiO2，在光学玻璃H-LaK4L基底上设计并制备了相位调控增透膜。经过工艺优化，研制结果表明，在28°入射条件下，0.55～0.85 μm的波段范围内，薄膜平均透射率大于97%，其相位差小于1°。膜层能够经受航天光学薄膜产品的环境实验的检验，满足了项目的可靠性要求。
薄膜 增透膜 相位调控膜
