作者单位
摘要
1 大连民族学院 物理与材料工程学院,辽宁 大连 116600
2 大连路美芯片科技公司,辽宁 大连 116600
3 德国萨尔大学,萨尔州 66123
采用聚焦离子束制备了500nm和1.5μm周期两种结构, 使GaN基LED光效显著提高。比较长、短周期光子晶体提高光效的程度、制备工艺、设备及其相应的成本,宜采用长周期光子晶体结构来提高蓝光GaN基LED的发光效率。采用聚焦离子束和激光干涉两种方法,在GaN基LED导电层(ITO)上制备了长周期光子晶体,利用光纤光谱仪、显微镜和功率计对光提取效率进行了实验测试,结果表明长周期光子晶体LED比无光子晶体LED的光提取效率提高了90%以上。还采用激光干涉直写方法,以扫描的方式在较大面积上制备了光子晶体LED, 确认了该方法及工艺批量化、低成本制备光子晶体的可行性。聚焦离子束方法虽然能够产生较精确的光子晶体图形,但由于耗时长、效率低、成本高等问题,仅适于在实验研究中选择和优化光子晶体的结构和参数。
聚焦离子束 激光干涉直写 光子晶体LED 发光效率 focused ion beam laser interference direct writing photonic crystal LED luminous efficiency 
半导体光电
2013, 34(3): 383

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