碲锌镉是一种性能优异的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体材料。随锌含量不同, 其禁带宽度可连续调节, 是用于制备红外探测器的碲镉汞材料的优良衬底。介绍了多种碲锌镉晶体的磨抛方法, 包括手工研磨、机械抛光、化学抛光和机械化学抛光。借助多种表征技术和改良手段, 碲锌镉晶体的表面加工取得了显著进步。
碲锌镉 磨抛 机械化学抛光 精密加工 cadmium zinc telluride lapping and polishing chemical mechanical polishing precision finishing
1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室， 上海 201800
2 中国科学院大学， 北京 100049
针对大口径光学元件精密加工时上下表面存在温差的问题，以环形抛光系统为例，对抛光盘和工件温度特性进行了研究。在1.6 m环形抛光机上对工件温度进行了测定，结果表明即使在低速抛光情况下工件上下表面也会产生较大的温差。提出了合理搭配工艺参数和对工件非加工面绝热两种温差控制方法。通过采用控制变量法和对工件绝热抛光法进行测温实验验证了方案的可行性，为高精度面形加工奠定了基础。
光学制造 温差控制 大口径光学元件 环形抛光 精密加工 绝热 中国激光
2014, 41(11): 1116001
