1 太原理工大学 微纳系统研究中心, 太原 030024
2 太原理工大学 新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室, 太原 030024
为了设计新型的加速度传感器, 将共振光隧穿结构应用于传感元件, 利用COMSOL软件对传感器的频率响应、灵敏度性能等关键要素进行了模拟仿真分析, 搭建了实验平台, 验证了共振光隧穿原理。结果表明, 基于共振光隧穿效应结构的加速传感器在100Hz~3000Hz范围内、加速度为500m/s2的情况下, 灵敏度可达到6.7dB/g。该传感器小巧轻便、结构简单, 且具有较高的灵敏度, 这为光学传感器的研究提供了新的方法和思路, 具有广阔的应用前景。
传感器技术 共振光隧穿效应 加速度传感器 灵敏度 谐响应 sensor technique resonant optical tunneling effect acceleration sensor sensitivity harmonic response
