1 安徽大学 光电信息获取与控制教育部重点实验室, 安徽 合肥 230601
2 浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室, 浙江 杭州 310027
光学自由曲面因其表面自由度较大, 可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差, 同时满足现代光学系统高性能、轻量化和微型化的要求, 逐渐成为现代光学工程领域的热点。自由曲面的检测技术已经成为制约其应用的最重要因素, 而目前精密光学自由曲面的检测手段仍然沿用非球面检测方法。本文回顾了近年来的自由曲面检测发展历程, 对目前主流的非接触式检测方法(微透镜阵列法, 结构光三维检测法, 相干层析术, 干涉检测法)进行了重点介绍; 总结了非球面检测方法运用到自由曲面检测中的技术难点, 同时结合这些技术难点, 展望了自由曲面检测的未来发展新趋势, 主要集中在非旋转对称像差的动态补偿、分区域像差的回程误差校准及子孔径拼接技术。
自由曲面检测 干涉检测法 子孔径拼接 非旋转对称像差补偿 free-form surface testing interferometry subaperture stitching rotationally asymmetric aberration compensation