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仪器，测量与计量
衍射光强取样分析法测定划痕宽度:实验部分
戴名奎 徐德衍 沈卫星 
作者单位
摘要
中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
根据衍射光强取样分析法理论部分的测量原理设计了一套实验方案，比较了该方法与轮廓仪、显微镜对划痕实际宽度的测试结果，给出了其相对测量误差，并分析了误差的主要来源。该方法速度快，精度高，有推广和应用的价值。
衍射花样 划痕宽度 测量 
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光学学报
1998, 18(1): 90
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