北京理工大学 光电学院 精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室, 北京 100081
针对现有共焦显微镜中定焦速度慢和定焦精度差的问题, 提出了基于单步驱动的激光共焦显微镜快速定焦方法。充分利用轴向扫描器件的响应时间通过单步驱动获取数据, 大幅提高采集速度, 提高系统信噪比；通过拟合区间优化和分开拟合的数据处理方法来快速、准确获取定焦目标位置, 进而实现激光共焦显微镜轴向定焦效率的提升。理论分析与实验结果表明: 与现有定焦方法相比, 方法在粗定焦阶段使定焦速度提升5.64倍, 在准确定焦阶段使定焦速度提升3.08倍, 其有效提升了现有共焦显微镜的轴向定焦速度和精度。
光学测量 共焦 快速定焦 单步驱动 optical measurement confocal fast focus identification single step drive
