针对传统双目视觉定位系统立体匹配困难、计算量大、效率低的问题，设计了一种基于靶标区域(ROI)提取的双目定位系统，以改善定位精度。首先，利用张氏标定法标定双目摄像机，并通过Bouguet算法对整个系统进行立体校正；然后利用直方图阈值法和投影法分割图像中的ROI，以大幅降低后续特征匹配的计算量；最后采用加速稳健特征算法对左右摄像机图片进行亚像素级角点的提取与匹配，并结合标定结果获得精确的定位。实验结果表明，ROI内特征点的匹配准确度可以达到90%以上，系统的定位时间在700 ms以内，可以满足系统实时性的要求。该方法主要针对ROI进行特征点提取和匹配，避免了不必要的全局图像处理，从而将匹配速度从秒级缩短至毫秒级。

同步相移干涉技术通过同时获取多幅相移干涉图, 实现动态波面的相移干涉测量。为了保证测量精度, 在实施相移算法前, 需要对相移干涉图进行准确的位置配准。提出了一种结合加速稳健特征(SURF)提取算法和随机采样一致性(RANSAC)算法的多步干涉图位置配准方法, 通过配准具有一定特征的干涉背景图, 获得图像之间的变换关系并作用于相移干涉图, 实现同步相移干涉图位置配准。仿真分析表明, 该方法在光强不均的情况下对平移和旋转变换均具有较好的校准效果; 在含有高斯白噪声的情况下, 仍能进行配准获得变换矩阵, 完成相位恢复。将此方法应用于四步同步相移显微干涉测量仪对标准平面进行测量, 得到测量结果峰谷值为23.2520 nm, 均方根值为2.3149 nm。