南京理工大学电子工程与光电技术学院， 江苏 南京 210094
光学元件的亚表面损伤指的是在加工过程中产生的划痕和裂纹等。在激光的照射下，亚表面损伤会使光场发生变化，并且随着激光照射时间的增加，裂纹会越来越大，产生散射，最终影响光束的能量集中度。基于全内反射法测量亚表面损伤的原理提出了一种新的估计损伤深度的方法。入射光波和出射光波在样品表面下方叠加形成驻波，入射光的偏振态以及入射的角度会影响样品内部的光强分布。通过分析亚表面损伤点的光强度和入射角之间的关系，能够由入射角的改变量来估算亚表面损伤的深度。
测量 光学元件 亚表面损伤 全内反射法 驻波理论 激光与光电子学进展
2016, 53(11): 111401
