1 重庆理工大学光纤传感与光电检测重庆市重点实验室,重庆 400054
2 重庆邮电大学通信与信息工程学院,重庆 400065
人类指尖的指纹图案以及互锁的表皮-真皮微结构在放大触觉信号并将其传递给各种机械感受器方面发挥着关键作用,从而实现对各种静态和动态触觉信号的时空感知。本文报道了一种受指尖皮肤微结构启发的微纳光纤柔性触觉传感器,该传感器具有环形脊的指纹状表面、错峰互锁的微结构以及刚度差异化的树脂/聚二甲基硅氧烷多层结构。通过这些设计特征,传感器能够以高耐久性、高灵敏度(20.58 %N-1)、快速响应(86 ms)及大动态范围(0~16 N)检测多种时空触觉刺激,包括静态、动态压力和振动,并能够识别物体的硬度和表面纹理差异。该传感器具有结构紧凑、制作简便、易集成、抗电磁干扰等优点,可被应用于机器人皮肤、可穿戴传感器和医疗诊断设备中。
光纤传感器 微纳光纤 仿生触觉 压力 皮肤指纹微结构 光学学报
2023, 43(21): 2106004
1 北京信息科技大学 传感器重点实验室, 北京100192
2 北京信息科技大学 现代测控技术教育部重点实验室, 北京100101
锆钛酸铅(PZT)具有灵敏度高,响应速度快及压电常数大等优点, 已被广泛应用于触觉传感器及超声换能器等领域。该文首先对基于PZT的触觉传感器的原理及制作工艺进行了阐述, 再从材料优化、结构优化、柔弹性优化和可扩展性优化4个方面概述了PZT触觉传感器的研究进展, 讨论了其在运动检测、医疗健康和人机交互领域的实际应用, 最后对PZT触觉传感器的不足和未来发展趋势进行了分析。
锆钛酸铅 触觉传感器 压电 柔性 lead zirconate titanate tactile sensor piezoelectric flexible
1 上海工程技术大学机器人研究所,上海 201620
2 上海工程技术大学数理与统计学院,上海 201620
微创医疗与普通医疗相比具有显著的优势,尤其是微创手术能够减少术中失血和创伤,改善术后恢复,减轻病人疼痛和医生疲劳等。近年来,适用于微创医疗的机器人辅助医疗系统已成为世界各国的研究热点之一。光纤布拉格光栅传感器不仅易于集成,而且具有抗电磁干扰、线性度良好、波分复用等特点,这些使得它超越压阻传感器、电容传感器、压电传感器等传统的电信号传感器,在微创医疗智能机器人领域具有广阔的发展前景。本文对光纤布拉格光栅传感器在微创医疗中力触觉感知和温度感知的应用发展做了详细的叙述,并对其存在的问题和发展前景进行了分析。
光纤光学 光纤布拉格光栅 微创医疗 力触觉感知 温度感知 激光与光电子学进展
2022, 59(13): 1300004
皮肤是人类感知外界信息的重要器官,人类通过皮肤产生的触觉感来判定环境变化,从而做出相应的反应。该文以聚偏二氟乙烯(PVDF)为主材料,设计制备了液体芯PVDF压电纤维、电子皮肤柔性触觉传感器。为了测试该电子皮肤的触觉传感性能,实验以推力计施加压力,使压电纤维发生形变,则电荷改变。通过机器学习误差逆向传播(BP)神经网络算法、分类学习对数据训练,即可通过6根纤维的信号大小来判断压力的大小及位置。其中BP神经网络的回归分析图中回归系数(R)值为0.87,分类学习中接受者操作特征曲线(ROC)下的面积(AUC)为1。结果表明该电子皮肤灵敏度高,对于力的捕捉精确。
触觉 电子皮肤 液体芯聚偏二氟乙烯(PVDF)纤维 柔性触觉传感器 机器学习 tactile electronic skin liquid core PVDF fiber flexible tactile senor machine learning
吉林大学 仪器科学与电气工程学院, 吉林 长春 130026
为模拟人类触觉感知功能, 实现智能触觉, 研制了一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜的多信息触觉检测系统, 初步实现了对物体表面柔软度、黏性、纹理粗糙度、纹理规律性、热度5种维度信息的检测识别。该触觉检测系统利用凸点型压电薄膜传感器获取物体表面信息, 上位机对采样信号进行数字滤波、特征提取及特征分类, 最终得到物体表面特性信息, 并绘出物体表面特性五感图。其中纹理粗糙度采用主频率识别方法, 利用傅里叶变换(FFT)进行特征提取。实验结果表明, 该系统能够有效区分被测物体表面信息。
触觉智能 聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜 多信息触觉信号检测 五感图 主频率识别 傅里叶变换(FFT) tactile intelligence PVDF piezoelectric film multi-information tactile signal detection five-sense map main frequency recognition FFT
上海市计量测试技术研究院 机械与制造计量技术研究所, 上海 201203
针对当前微纳米测量中存在的微结构跨尺度、高精度测量及高深宽比结构多参数表征问题, 基于纳米测量机和微接触测头构建了纳米坐标测量系统。通过对测头与定位平台机械、电气及软件接口的设计, 实现测头与平台的集成, 并利用标准球对测量系统进行校准。为保证测量结果的可溯源性, 对定位平台三轴激光干涉仪的激光器进行了拍频。最后, 利用搭建的测量系统对高度10 μm,2 mm的超高台阶及硅臂卡爪的侧壁倾角进行了测量, 表明系统具备大尺寸结构的高精度测量和复杂MEMS器件特征尺寸的精确表征能力。
微纳米测量 纳米测量机 三维微接触测头 高深宽比 侧壁倾角 micro-and nano measurement nano measuring machine 3D micro tactile probe high aspect ratio sidewall angle 光学 精密工程
2020, 28(10): 2252
Author Affiliations
Abstract
1 State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, College of Optical Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China
2 College of Computer Science and Technology, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China
3 College of Information Science and Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China
4 Cavendish Laboratory, University of Cambridge, JJ Thomson Avenue, Cambridge CB3 0HE, United Kingdom
Electronic skin, a class of wearable electronic sensors that mimic the functionalities of human skin, has made remarkable success in applications including health monitoring, human-machine interaction and electronic-biological interfaces. While electronic skin continues to achieve higher sensitivity and faster response, its ultimate performance is fundamentally limited by the nature of low-frequency AC currents. Herein, highly sensitive skin-like wearable optical sensors are demonstrated by embedding glass micro/nanofibers (MNFs) in thin layers of polydimethylsiloxane (PDMS). Enabled by the transition from guided modes into radiation modes of the waveguiding MNFs upon external stimuli, the skin-like optical sensors show ultrahigh sensitivity (1870 kPa-1), low detection limit (7 mPa) and fast response (10 μs) for pressure sensing, significantly exceeding the performance metrics of state-of-the-art electronic skins. Electromagnetic interference (EMI)-free detection of high-frequency vibrations, wrist pulse and human voice are realized. Moreover, a five-sensor optical data glove and a 2×2-MNF tactile sensor are demonstrated. These initial results pave the way toward a new category of optical devices ranging from ultrasensitive wearable sensors to optical skins.
optical micro/nanofiber pressure sensor tactile sensor wearable sensor Opto-Electronic Advances
2020, 3(3): 03190022