1 西南科技大学 材料科学与工程学院， 四川 绵阳621010
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心， 四川 绵阳621900
3 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心， 四川 绵阳621900，
采用软模板法制备出了聚二甲基硅氧烷微流控装置。利用该装置讨论了正硅酸乙酯和氨水的用量分别对反应体系凝胶化时间的影响，确定了制备SiO2微球的优化反应体系，即二甲基乙酰胺、正硅酸乙酯和氨水的体积比为8∶4∶1，实验所需的反应温度为60 ℃。实验发现：在微流体通道中，分散相的流速越大，粒径越大；连续相流速越大，粒径越小。因此，通过控制微流控装置中分散相和连续相的流速制备了粒径40~220 μm的单分散SiO2微球，并对其形貌进行表征。光学显微镜和粒径分析均表明所制备的SiO2微球球形度高，单分散性好。
SiO2微球 微流控技术 单分散性 聚二甲基硅氧烷 正硅酸乙酯 silica spheres microfluidic technology monodispersity polydimethylsiloxane tetraethyl orthosilicate
1 四川大学 化学学院，成都 610064
2 成都精密光学工程研究中心，成都 610041
以正硅酸乙酯(TEOS)和硅油为前驱体，在碱性催化体系中制备出有机硅改性二氧化硅溶胶，采用提拉法获得了具备疏水性能的二氧化硅减反膜。通过透射电镜、扫描探针显微镜、红外光谱、分光光度计、表面轮廓仪等多种方法研究了改性后的膜层性能。在高湿度环境中存放两周后，在波长确定的情况下，常规二氧化硅减反膜透过率由99．2%降到了96．5%，疏水改性膜层透过率仍然高于99%。与常规减反膜相比，疏水改性减反膜在高湿度条件下防止潮气侵蚀的性能得到了大幅度的提高。
疏水性 有机硅 溶胶－凝胶 二氧化硅减反膜 anti-reflective tetraethyl orthosilicate silicon oil sol-gel
