对定向耦合型偏振分束器的原理进行了分析。设计了一种零间距定向耦合器,在空间上实现TE/TM模式分束;用BPM软件对所设计的器件进行仿真模拟,对于TE/TM模的消光比分别可以达到21.2dB和19.5dB;该器件在X切Y传的LiNbO3晶片上采用Ti扩散技术制作完成。实验样品消光比测试结果TE/TM模分别为11.5dB和19.1dB,对于消光比不够理想的原因进行了初步的分析。
定向耦合器 Ti扩散 耦合模理论 directional coupler Ti diffuse BPM BPM theory of coupling mode