陆军工程大学 光电技术研究所, 湖北 武汉430075
提出了磁场辅助激光沉积类金刚石(DLC)膜技术, 在硅基底附近添加磁力线向基底收拢的磁场, 用以迫使侧向飞行的离子向基底靠拢并参与成膜。由于离子向基底的集中, 使其在膜层中含量大幅上升, 间接地减少了大颗粒的比例, 因此, 与无磁场条件下制备的DLC膜相比, 引入磁场不仅提高了DLC膜的沉积速率, 而且提高了其机械硬度; 更重要的是, 间接地证明了激光对靶材离化的高效性, 为脉冲激光沉积(PLD)结合磁过滤技术提供了可行性的依据。
磁场辅助脉冲激光沉积 类金刚石膜 纳米硬度 厚度分布 magnet-assistant pulsed laser deposition diamond-like carbon film nano-hardness thickness distributing 红外与激光工程
2019, 48(11): 1117002
