李慧 1杨小天 2,3,*王艳杰 1,2,**王超 1,2[ ... ]聂晓渊 1
作者单位
摘要
1 吉林建筑大学 电气与计算机学院 吉林省建筑电气综合节能重点实验室,吉林 长春 130118
2 吉林建筑大学 寒地建筑综合节能教育部重点实验室,吉林 长春 130118
3 吉林师范大学,吉林 四平 136099
为有效提高薄膜晶体管的电学和光学性能,本文采用射频磁控溅射法在P型硅衬底上沉积钨掺杂氧化锌薄膜(WZO),并制备成薄膜晶体管(TFT)器件,研究钨(W)的溅射功率对WZO薄膜晶体管电学和光学性能的影响,并对WZO薄膜进行表征。实验结果表明,W的溅射功率会影响薄膜的结晶质量。随着W溅射功率的增加,薄膜结晶质量逐渐变好。达到某个值后继续增加W的溅射功率,薄膜结晶质量并没有很大的改善。本文中研究的WZO薄膜均在(002)晶面择优生长,且当W的溅射功率为2 W时,WZO薄膜晶体管综合性能最好,开关比达到5.24×105,阈值电压为16.89 V,在400~1 400 nm波段平均透过率达到90%。
薄膜晶体管 氧化锌钨薄膜 钨的溅射功率 thin film transistor zinc tungsten oxide thin film tungsten doping content 
液晶与显示
2022, 37(11): 1439
作者单位
摘要
1 南昌大学材料科学与工程学院, 江西 南昌 330031
2 中国科学院宁波材料技术与工程研究所, 浙江 宁波 315201
为改善氧化钨电致变色薄膜的电化学循环稳定性,采用磁控溅射方法制备了钽掺杂的氧化钨电致变色薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱(XPS)、光谱椭偏仪(SE)、紫外可见分光光度计、电化学工作站对薄膜的微观结构、光谱调制能力、着色效率、循环稳定性进行了表征和分析,研究了钽掺杂对氧化钨薄膜结构及电致变色性能的影响。结果表明,适量掺杂可以调节薄膜的微观结构,使薄膜中的裂纹减少,表面更为均匀;但当掺杂过度时,薄膜太过致密,甚至出现表面颗粒团聚凸起的现象,影响了薄膜的多孔性和均匀性,阻碍了离子在薄膜中的迁移和扩散;相对于未掺杂的氧化钨薄膜,适量钽掺杂的薄膜具有更宽的光谱调制范围和更高的着色效率,亦表现出良好的循环稳定性。
薄膜 电致变色 氧化钨薄膜 钽掺杂 电化学循环稳定性 
光学学报
2014, 34(10): 1031001
作者单位
摘要
1 南昌大学材料科学与工程学院, 江西 南昌 330031
2 中国科学院宁波材料技术与工程研究所, 浙江 宁波 315201
为改善氧化钨薄膜的电致变色性能,通过溶胶凝胶法钨粉过氧化路线制备了聚乙二醇改性的氧化钨电致变色薄膜。采用X射线衍射仪、光谱椭偏仪、紫外可见分光光度计和电化学工作站对薄膜的微观结构、光谱调制能力、着色效率、离子扩散能力、可逆性和响应时间及循环稳定性进行了表征和分析,并研究了聚乙二醇对氧化钨薄膜结构及电致变色性能的影响。结果表明,聚乙二醇可以使氧化钨薄膜结晶延迟;添加一定量的聚乙二醇可以得到纳米晶/非晶复合结构薄膜,从而更有利于离子在薄膜中的扩散与迁移;相对于未添加聚乙二醇改性的氧化钨薄膜,聚乙二醇改性的薄膜具有更宽的光谱调制范围和更高的着色效率,亦表现出良好的可逆性和循环稳定性。
薄膜 电致变色 氧化钨薄膜 聚乙二醇改性 微结构 
光学学报
2012, 32(12): 1231003
作者单位
摘要
1 山东农业大学信息科学与工程学院, 山东 泰安271000
2 同济大学物理系, 上海200092
采用电子束及真空热蒸发的方式镀制了氧化钨薄膜及掺杂的氧化钨的复合共生薄膜。 运用拉曼光谱以及电化学工作站等测试手段分析了氧化钨复合共生薄膜的结构及电致变色性能。 通过对拉曼光谱曲线的解叠分峰处理发现, 源于晶相的810 cm-1拉曼峰的相对强度变化与样品的致色效率存在负相关, 即拉曼峰相对强度越小, 样品的致色效率越高。
氧化钨 二氧化钛 电致变色 拉曼光谱 Tungsten oxide thin film Titanium oxide Electro chromic Raman spectroscopy 
光谱学与光谱分析
2012, 32(11): 3028
作者单位
摘要
同济大学精密光学工程技术研究所, 上海 200092
采用真空蒸镀的方式制备了电致变色氧化钨薄膜,采用直流磁控溅射方法镀制了银层,采用电子束蒸发以插入层及共生的方式对氧化钨薄膜进行二氧化钛掺杂。使用UV757CRT紫外可见分光光度计测量了各样品随时间变化的透射率光谱。在CHI604C电化学工作站上进行了电化学测试,致色过程中进行了原位的光谱测量。使用原子力显微镜(AFM)和扫描电镜(SEM)观察了复合氧化钨薄膜的形貌。实验结果表明共生复合薄膜具有良好的环境稳定性,掺有银纳米层的复合薄膜与基底附着紧密,结构稳定,致色效率相对单层氧化钨薄膜平均提高了52.85%,漂白态和着色态的透射率差值达到了87.64%(λ=600 nm,致色时间20 s)。
薄膜 氧化钨薄膜 二氧化钛 电致变色 致色效率 
光学学报
2011, 31(12): 1231001

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