1 复旦大学 微电子学系ASIC 与系统国家重点实验室,上海200433
2 桂林电子科技大学 信息与通信学院,广西桂林蓸541004
利用金属/电介质光子晶体(MDPC)对黑体热辐射光谱有增强透射和滤波的剪裁特性,制成能够发射出高性能、可调谐窄带相干光的等离子体微机电系统(MEMS)红外光源。其工作波长可选择性、工艺简单、成本低和MEMS 化等优点使其在生物、医学和**等领域得到广泛的应用。对该器件的结构与材料选择、工作机理、工艺流程及性能表征和研究进展进行了详细的综述,对其在微型非色散红外(NDIR)气体传感系统中的应用前景进行了展望。
光学器件 金属/电介质光子晶体 二维金属亚波长孔阵列 表面等离子体 黑体辐射 激光与光电子学进展
2009, 46(12): 38
