天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室， 光电信息技术科学教育部重点实验室， 天津 300072
利用中心波长为775 nm、重复频率为1 kHz、脉宽为130 fs的飞秒激光脉冲对厚度为200 μm的铜片进行微加工，制作了适用于太赫兹(THz)波段（0.1～4 THz）的二维金属亚波长孔阵列。实验中，分别固定激光能量和加工时间，研究烧蚀孔直径随激光功率及加工时间的变化规律，发现激光偏振态是引起烧蚀缺口的主要原因。利用数值模拟软件(CST)计算出适用于THz波段的金属孔阵列结构参数，根据以上实验结果选择合适的激光参数制作了孔阵列。
激光技术 飞秒激光微纳加工 打孔 二维金属亚波长孔阵列 激光与光电子学进展
2011, 48(5): 051402
1 复旦大学 微电子学系ASIC 与系统国家重点实验室,上海200433
2 桂林电子科技大学 信息与通信学院,广西桂林蓸541004
利用金属/电介质光子晶体(MDPC)对黑体热辐射光谱有增强透射和滤波的剪裁特性,制成能够发射出高性能、可调谐窄带相干光的等离子体微机电系统(MEMS)红外光源。其工作波长可选择性、工艺简单、成本低和MEMS 化等优点使其在生物、医学和**等领域得到广泛的应用。对该器件的结构与材料选择、工作机理、工艺流程及性能表征和研究进展进行了详细的综述,对其在微型非色散红外(NDIR)气体传感系统中的应用前景进行了展望。
光学器件 金属/电介质光子晶体 二维金属亚波长孔阵列 表面等离子体 黑体辐射 激光与光电子学进展
2009, 46(12): 38
