天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室， 光电信息技术科学教育部重点实验室， 天津 300072
利用中心波长为1040 nm、脉宽为190 fs、重复频率在200~5000 kHz之间可调的飞秒激光对熔融石英进行微加工。研究了烧蚀阈值随脉冲重复频率、扫描速度的变化规律，阐明不同参数下热扩散效应及热累积效应对烧蚀过程的主导作用。在最优化条件下，制作了双线波导，可以对1040 nm激光实现圆形基模传输。进一步制作了椭圆晶胞的六角微结构波导，对1040 nm激光可以输出近高斯强度分布的基模，模场面积达到247.48 μm2。该微结构波导可实现单偏振传输，消光比达9.05，波导数值孔径约0.017。
激光技术 飞秒激光微纳加工 波导 光子晶体 中国激光
2012, 39(12): 1203002
天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室， 光电信息技术科学教育部重点实验室， 天津 300072
利用中心波长为775 nm、重复频率为1 kHz、脉宽为130 fs的飞秒激光脉冲对厚度为200 μm的铜片进行微加工，制作了适用于太赫兹(THz)波段（0.1～4 THz）的二维金属亚波长孔阵列。实验中，分别固定激光能量和加工时间，研究烧蚀孔直径随激光功率及加工时间的变化规律，发现激光偏振态是引起烧蚀缺口的主要原因。利用数值模拟软件(CST)计算出适用于THz波段的金属孔阵列结构参数，根据以上实验结果选择合适的激光参数制作了孔阵列。
激光技术 飞秒激光微纳加工 打孔 二维金属亚波长孔阵列 激光与光电子学进展
2011, 48(5): 051402
