激光外差光谱测量技术具有光谱分辨率高、探测灵敏度高、成本低等特点，近年来在温室气体探测、激光大气传输等领域得到了广泛的应用。以3.66 μm 分布反馈式带间级联激光器作为本振光源搭建了一套高分辨率激光外差太阳光谱测量装置，实现了水汽吸收光谱的实时测量，并利用最优估算法对整层大气中的水汽柱浓度进行了反演，得到合肥地区2019年5月22日和23日的水汽柱浓度。反演结果与同步进行观测的傅里叶变换光谱仪EM27/SUN测量结果变化趋势一致，相关性优于0.8，偏差小于15%。研究结果表明，搭建的激光外差光谱测量装置能够实现大气中水汽吸收光谱的实时测量以及水汽柱浓度的精确反演，同时为后续的水汽浓度廓线测量与研究奠定了基础。