基于统计光学理论，建立了适用于同步辐射软X射线的部分相干光的传播模型。利用互强度描述部分相干光，并采取分割波前叠加的方法，引入合理的近似，可以定量分析部分相干光传播一定距离后相干性能的变化。利用该模型分析了传播距离、光源相干长度、光源尺寸等因素对相干性能的影响。另外在上海光源软X射线干涉光刻分支线站BL08U1B进行了相干衍射实验，并利用该模型对实验结果进行了模拟。模拟结果表明，该模型能够准确地模拟BL08U1B的相干衍射图样，计算结果和实验数据符合较好，为设计同步辐射高相干性光束线站提供了理论依据和参考。
X射线光学 部分相干光 互强度 相干长度
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
首先利用部分相干光理论详细地分析了在部分相干光照明下光栅的菲涅耳衍射,给出了观察面上衍射光强分布的一般公式,并就光源的发光面积对光栅塔尔博特效应的影响进行了讨论,得到了光栅衍射光强的分布随着照明光源的发光尺寸的增加而逐渐变得平滑这一结论,并且,当光源发光尺寸增加到毫米量级时,光栅的塔尔博特效应将完全消失。在实验上对不同发光尺寸的扩展非相干光源照明光栅时的菲涅耳衍射光强进行了测量,实验结果与理论分析得出的结论相符合。
物理光学 菲涅耳衍射 互强度 塔尔博特效应 光栅自成像
