1 北方民族大学 电气信息工程学院，宁夏 银川 750011
2 西安交通大学 电子物理与器件教育部重点实验室，陕西 西安 710049
采用电子束蒸镀工艺制备氧化钙掺杂氧化镁复合介质保护膜并深入分析了制备温度对该复合保护膜透过率及二次电子发射效率的影响。实验表明，高温制备能够使复合薄膜表面形貌更为致密，结晶粒径增加，薄膜的透过率和发光效率提高。当制备温度为300 ℃时，复合薄膜的形貌更为致密平整，裕度从25 V增加到32 V，发光效率从1.70 lm/W提高到1.91 lm/W，提高了12.35 %。
氧化镁 介质保护膜 二次电子发射 MgO dielectric protective film secondary electron emission
