1 南京理工大学机械工程学院, 江苏 南京 210094
2 数控机床功能部件共性技术工业和信息化部重点实验室, 江苏 张家港 215600
为了实现滑块内滚道型面精度的快速准确测量,提出一种基于激光三角位移传感器倾斜测量的方法。对该方法的算法进行推理与验证,同时借助高精度圆棒进行实验验证。根据测量系统的特征与滑块内滚道的形状,建立相对应的模型。设计相应的算法,计算滑块内滚道的半径,并对测量过程中的误差来源进行标定补偿。在内滚道轮廓算法的基础上,计算滑块内滚道的轴线相对基准面的位置与平行度。介绍该方案的验证性实验并分析结果。实验结果表明:标准圆棒的测量精度为3.75 μm,标准差在2 μm以内。实验结果满足5 μm的测量精度要求,且该测量方式对标定件与待测件没有位姿要求,具备一定的推广性。
测量 激光位移传感器 型面精度测量 椭圆拟合 传感器偏角 位姿 光学学报
2017, 37(10): 1012005
